中大型工业等离子清洗机

中型料盒式等离子清洗机PM/R-110L 半导体表面处理系统
产品描述
  • 中型料盒式等离子清洗机:主要用于半导体行业,解决芯片、晶圆等产品表面处理难题,从去除氧化物、粘接等多个角度提供表面处理。
工作原理

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

产品特点

触摸屏操作界面

数字及图标多重工艺参数实时显示

三色灯异常报警功能

自动/手动操作模式切换

可存储多套工艺配方

远程操控,数据导出(可选)

模块多样化选择,多层托架可选,处理量大

应用领域

v不分处理对象的基材类型,对金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料,如聚丙烯、聚脂、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地处理。

产品参数

型号

PM-110L

PR-110L

控制系统

控制方式

全自动控制(自动/手动切换)



PLC(标配)/PC(可选)


操作系统

Windows 10


触摸屏

7寸

整机规格

尺寸

W1000×D1200×H1700mm

腔体

尺寸

W500×D500×H450mm


材质

铝合金(标配)/不锈钢(可选)

电极

尺寸

W490×D417mm


层数

1-8层,可选

托架

材质

铝合金(标配)/不锈钢(可选)


层数

1层

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC质量流量控制器

2个;Ar、N2、O2(可选)

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz,0~1000W

13.56MHz,0~1000W

额定功率

整机峰值功率

5KW

机台供电

三相五线式

AC-380V

选购品

干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件


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