中大型工业等离子清洗机

等离子刻蚀机JY-36LN
产品描述
  • 等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。
工作原理

等离子刻蚀机,又叫等离子蚀刻机、等离子平面刻蚀机、等离子体刻蚀机、等离子表面处理仪、等离子清洗系统等。等离子刻蚀,是干法刻蚀中最常见的一种形式,其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体,由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体,从而形成了等离子或离子,电离气体原子通过电场加速时,会释放足够的力量与表面驱逐力紧紧粘合材料或蚀刻表面。

产品特点

1.触摸屏操作界面

2.数字及图标多重工艺参数实时显示

3.三色灯异常报警功能

4.自动/手动操作模式切换

5.可存储多套工艺配方

6.远程操控,数据导出(可选)

7.模块多样化选择,多层托架可选,处理量大

应用领域

等离子体处理可应用于所有的基材,甚至复杂的几何构形都可以进行等离子体活化、等离子体清洗,等离子体镀膜也毫无问题。等离子体处理时的热负荷及机械负荷都很低,因此,低压等离子体也能处理敏感性材料。等离子刻蚀机的典型应用包括:

等离子体清除浮渣、光阻材料剥离、表面处理、等离子刻蚀反应、各向异性和各向同性失效分析应用材料改性、包装清洗、钝化层蚀刻、聚亚酰胺蚀刻、增强粘接力、生物医学应用、聚合反应、混合物清洗、预结合清洗

产品参数

型号

JY-36LN

控制系统

控制方式

全自动控制(自动/手动切换)



PLC(标配)/PC(可选)


操作系统

PLS定制


触摸屏

15寸

整机规格

尺寸

W650×D900×H1650mm

腔体

尺寸

320×280mm


材质

铝合金(标配)/不锈钢(可选)

电极

尺寸

W390×D317mm


层数

1-7层,可选

托架

材质

铝合金(标配)/不锈钢(可选)


层数

1层

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC质量流量控制器

2个;Ar、N2O2(可选)

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz,0~1000W

13.56MHz,0~500W

额定功率

整机峰值功率

4KW

机台供电

三相五线式

AC-380V

选购品

干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件


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