小型实验型等离子表面处理仪

小型实验型等离子清洗机PM/R-T5L
产品描述
  • 触摸屏操作界面 数字及图标多重工艺参数实时显示 蜂鸣器+红色指示灯报警功能 自动/手动操作模式切换 可存储多套工艺配方
工作原理

等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,是一种全新的高科技技术,利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态,也叫做物质的第四态,并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括:离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面,从而实现清洁、涂覆等目的。

产品特点

触摸屏操作界面

数字及图标多重工艺参数实时显示

蜂鸣器+红色指示灯报警功能

自动/手动操作模式切换

可存储多套工艺配方

应用领域

用于不同材料的表面处理

适合于研究所、大学院校、研发中心使用

产品参数

型号

PM-T5LN01

PR-T5LN01

控制系统

控制方式

全自动控制(自动/手动切换)



PLC


操作系统

Windows 10


触摸屏

7寸

整机规格

尺寸

W460×D494×H734mm

腔体

尺寸

Φ160×D250mm


材质

316不锈钢(标配)/铝合金(可选)

电极

尺寸

W100×D200mm


层数

1-2层,可选

托架

材质

需定制


层数

1层

真空计

皮拉尼式真空计

1个

流量计

MFC+浮子流量计

1路MFC,1路浮子流量计;Ar、N2、O2(可选)

真空泵

机械油式旋片泵

1套

发生器

中频/射频

40KHz,0~500W

13.56MHz,0~150W

额定功率

整机峰值功率

2KW

机台供电

单相三线式

AC-220V

选购品

干式泵、气浴电极(打孔)、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件


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