等离子刻蚀是等离子表面工艺的一个应用方向,这是通过电离形成的等离子体与需要处理的材料表面进行结合,两者发生反应,生产挥发性的物质,通过真空抽走,最终完成对表面的处理。

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一、等离子刻蚀设备介绍

等离子刻蚀设备主要由钣金外观、电源系统、真空腔体、气体控制系统、PLC控制等等组成;用户通过操作系统(PLC)对整个设备进行操作以及工艺参数的调整;不过需要注意的是:这类设备一般都是定制的,厂家根据客户本身需求、产品外观等等特点进行设计制造。

二、等离子刻蚀处理模式

直接模式:产品直接平行放入腔体内部,对于平整的产品能够达到好的刻蚀效果。

定向模式:产品比较特殊,需要独特的设计,这时候就需要对腔体、托架等进行定制设计;

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下游模式:需要较小的刻蚀效果,产品放置于不带电托架上,减少刻蚀反应,达到自己需要的效果;

定制模式:直接模式下效果不理想,这时候可以对整个设备进行定制;

三、等离子刻蚀工艺优势

1、等离子刻蚀是干法刻蚀,能够减少化学刻蚀带来的成本;

2、减少化学刻蚀带来的废弃物处理的麻烦,更加环保;

3、设备、配方等等调整后,可以保障每批次的产品处理稳定;

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等离子刻蚀设备已经在各种行业中得到了应用,并且获得很多行业的认可,能够帮助他们解决材料、产品的表面处理难题。